本發(fā)明公開了一種投射式無損檢測(cè)薄膜層間內(nèi)部缺陷的紅外熱像裝置及方法,所述裝置包括閃光光源、紅外熱像儀、信號(hào)同步裝置、被檢測(cè)件和計(jì)算機(jī),信號(hào)同步裝置分別與閃光光源和計(jì)算機(jī)連接,紅外熱像儀分別與計(jì)算機(jī)和信號(hào)同步裝置連接,被檢測(cè)件垂直放置在紅外熱像儀和閃光光源之間,并與紅外熱像儀的鏡頭平行。所述方法利用脈沖加熱激勵(lì)時(shí)多層薄膜中有缺陷部分熱流受阻、無缺陷部分熱流順利通過造成的表面溫度不同的現(xiàn)象識(shí)別出缺陷的部位和尺寸。本發(fā)明具有快速、無損、實(shí)時(shí)、檢測(cè)成本低的特點(diǎn),將其應(yīng)用于微電子、微電子機(jī)械等信息電子制造領(lǐng)域,可以使制造成本、測(cè)試成本大幅降低,質(zhì)量得以提高,具有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“投射式無損檢測(cè)薄膜層間內(nèi)部缺陷的紅外熱像裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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