本發(fā)明涉及一種用橢圓偏振光譜儀無損檢測(cè)金屬襯底氧化變性的方法,所述方法使用“金屬襯底?目標(biāo)氧化物”光譜作為目標(biāo)光譜,使用“金屬襯底?金屬氧化界面?目標(biāo)氧化物”光譜作為參考光譜,通過擬合及對(duì)比能夠快速判斷出金屬氧化界面的存在,并進(jìn)一步分析其成分及厚度等信息,與此同時(shí)獲得目標(biāo)氧化物的厚度及光學(xué)常數(shù)。本方法測(cè)量精度高、對(duì)樣品無損傷、對(duì)薄膜材料具有普適性。
聲明:
“用橢圓偏振光譜儀無損檢測(cè)金屬襯底氧化變性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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