本發(fā)明公開了一種基于光柵激光超聲聲譜的薄膜涂層脫粘缺陷的無損檢測方法,強脈沖激光束經(jīng)過光學(xué)掩模板或微陣列透鏡照射到被測薄膜涂層結(jié)構(gòu)表面形成周期分布的微小柵狀激光光斑,在被測區(qū)域激發(fā)固定波長的超聲波,當(dāng)被測區(qū)域無脫粘缺陷時,激發(fā)的超聲波為瑞利波,而當(dāng)被測區(qū)域存在脫粘缺陷時,則會產(chǎn)生蘭姆波;在波長一定的情況下,由于兩種波的波速不同,其對應(yīng)的頻率也會不同,采用激光超聲檢測單元在被測區(qū)域附近接收所產(chǎn)生的超聲波信號,獲取其中心頻率,根據(jù)被測信號中心頻率值即可判斷是否存在脫粘缺陷,還可以通過掃描檢測判斷脫粘缺陷的大小并對其進行成像。
聲明:
“基于光柵激光超聲聲譜的薄膜涂層脫粘缺陷的無損檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)