本實用新型涉及一種光學(xué)無損檢測物品表面的裝置,其特征在于:在激光器的光軸上設(shè)置擴束準(zhǔn)直透鏡組;在被測物品反射光束的中心軸線上依次設(shè)置分光棱鏡、可前后移動的平面反射鏡;在與被測物品反射光束的中心軸線垂直的方向上在分光棱鏡的兩側(cè)分別設(shè)置可轉(zhuǎn)動的平面反射鏡和帶鏡頭的線陣CCD,且可前后移動的平面反射鏡到分光棱鏡的距離與可轉(zhuǎn)動的平面反射鏡到分光棱鏡的距離相等;帶鏡頭的線陣CCD固定在微位移平臺上,線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機,計算機的控制信號輸出至微位移平臺控制微位移平臺的移動。利用線陣CCD推掃,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現(xiàn)象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“光學(xué)無損檢測物品表面的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)