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熱柵格掃描熱波無損薄膜厚度檢測方法

896 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:57:55

本發(fā)明公開了一種熱柵格掃描熱波無損薄膜厚度檢測方法，本發(fā)明沿直線勻速移動所述柵格熱源，且柵格熱源的移動軌跡平行于薄膜所在平面，并通過熱像儀記錄薄膜表面溫度信號；通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)分析步驟二得到的溫度信號，擬合出薄膜表面各點溫度信號的幅值和相位；針對所測材料的屬性，預先標定其幅值和相位隨厚度變化的規(guī)律；通過對比薄膜表面熱波信號的幅值和相位，根據(jù)標定好的厚度規(guī)律，擬合得到薄膜的厚度及厚度分布。本發(fā)明采用空間分布的穩(wěn)態(tài)熱波對薄膜厚度進行檢測，而不是采用熱波瞬態(tài)響應信號，因此對熱像儀的采樣頻率要求極低，對信號靈敏度要求也極低。

聲明：

“熱柵格掃描熱波無損薄膜厚度檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)