一種無損測量
石墨烯薄膜的方塊電阻的探針、探頭及測量儀,涉及石墨烯薄膜方塊電阻測試技術(shù)領(lǐng)域。探針包括導(dǎo)電針體和導(dǎo)電彈性針頭,其中,導(dǎo)電彈性針頭與導(dǎo)電針體的一端部連接且導(dǎo)電彈性針頭與導(dǎo)電針體之間能夠?qū)щ?,以使?dǎo)電彈性針頭與薄層材料接觸時(shí),導(dǎo)電彈性針頭能夠產(chǎn)生形變以防止破壞薄層材料。無損測量石墨烯薄膜的方塊電阻的探針、探頭及測量儀,適用于對石墨烯薄膜及納米級薄膜進(jìn)行方塊電阻測試,尤其適合對生長或轉(zhuǎn)移到基底上的石墨烯薄膜進(jìn)行無損、穩(wěn)定、可重復(fù)的準(zhǔn)確檢測,同時(shí)也適合推廣到其它薄膜材料的電導(dǎo)檢測。
聲明:
“無損測量石墨烯薄膜的方塊電阻的探針、探頭及測量儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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