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對薄層材料進行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法

844 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:57:58

本發(fā)明公開了一種對薄層材料進行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法，該測試儀包括紅寶石四探針頭、測試架、主機、測量控制系統(tǒng)、測試電壓調節(jié)器和恒流源通斷切換開關，主機內包括恒流源電路和電源電路，測試電壓調節(jié)器設置在電源電路和四探針頭之間，用于在測試開始前調節(jié)四探針頭中兩個外探針之間的測試電壓。恒流源通斷切換開關設置在恒流源電路和四探針頭之間，用于控制在探針針尖完全壓觸在薄層材料表面后才接通恒流源電路。本發(fā)明還公開了基于上述測試儀的測試方法。本發(fā)明可以調節(jié)1、4探針的測試電壓，避免發(fā)生高壓擊穿，紅寶石四探針頭有恰當曲率半徑和壓力，探針壓力可在25-250g的較大范圍內變化，能夠廣泛應用于測量各種新型薄層材料。

聲明：

“對薄層材料進行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)