本發(fā)明公開(kāi)了一種基于平移差分的微結(jié)構(gòu)線寬顯微無(wú)損測(cè)量方法，解決了顯微成像法測(cè)量微結(jié)構(gòu)線寬受限于成像衍射極限，測(cè)量精度低的問(wèn)題。首先采集待測(cè)微結(jié)構(gòu)的顯微圖像；接著將微結(jié)構(gòu)沿線寬方向平移一段微小距離，再次采集待測(cè)微結(jié)構(gòu)的顯微圖像；然后將兩次采集的顯微圖像相減得到差分圖像；再以高斯函數(shù)為目標(biāo)對(duì)差分圖像的光強(qiáng)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，以高斯函數(shù)極值點(diǎn)定位兩側(cè)差分脈沖的準(zhǔn)確位置；最后根據(jù)兩側(cè)極值點(diǎn)的精確位置得到高精度的線寬測(cè)量結(jié)果。本發(fā)明的線寬測(cè)量方法保留顯微成像法直觀、快速、無(wú)損測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，而且還突破了顯微成像衍射極限，同時(shí)減少照明不均和成像系統(tǒng)噪聲的影響，能夠提高線寬測(cè)量精度。