本發(fā)明提供一種富硼層和硼硅玻璃層的快速無損橢偏測試方法,具體地,所述制備方法包括:采用橢偏分析儀測試樣品A,得到樣品A的Ψ
(A)?λ曲線、采用橢偏分析儀測試樣品B,得到樣品B的Ψ
(B)?λ曲線;基于第一性原理,得到樣品A富硼層主要成分的光學性質(zhì),并導出富硼層不同波段對應的折射率和吸光系數(shù)曲線、結(jié)合橢偏的數(shù)值分析,求解得到樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)、樣品A富硼層富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)帶入樣品B的Ψ
(B)?λ曲線,通過擬合分析得到樣品B硼硅玻璃層的厚度、折射率和消光系數(shù)。本發(fā)明具有快速、無損、準確測量的特點。
聲明:
“富硼層和硼硅玻璃層的快速無損橢偏測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)