在用于分析和評估對象(SW)的無損非接觸分析 系統(tǒng)中,光束產(chǎn)生/調(diào)制裝置12發(fā)射調(diào)制聚焦光束(MLB)以由 此照射對象(SW),并且調(diào)制聚焦光束的調(diào)制由一系列規(guī)則脈沖 組成的調(diào)制信號(MO-S)實現(xiàn)。磁性檢測裝置(22)檢測磁場(MF) 并由此產(chǎn)生磁場信號(MF-S),此磁場由用調(diào)制聚集光束照射 對象而激發(fā)的電流產(chǎn)生。信號提取電路(24)提取在參考信號(RE -S)和磁場信號(MF-S)之間的相差信號(PDF-S)。圖像數(shù)據(jù) 產(chǎn)生系統(tǒng)(圖14)基于相差信號(PDF-S)產(chǎn)生相差圖像數(shù)據(jù) (PDFij)。
聲明:
“無損非接觸分析系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)