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極化晶體疇結(jié)構(gòu)無損表征的方法、系統(tǒng)及其應(yīng)用

914   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:02
本申請(qǐng)公開了一種極化晶體的無損檢測(cè)方法、系統(tǒng)及其應(yīng)用,用于極化晶體疇域結(jié)構(gòu)重要指標(biāo)參數(shù)(包括占空比、極化周期等)的無損狀態(tài)下的表征。該對(duì)極化晶體施加一定的電場,不改變極化晶體疇結(jié)構(gòu)的前提下放大極化晶體折射率的變化;通過圖像采集、衍射光強(qiáng)采集和數(shù)據(jù)分析,得到極化晶體疇結(jié)構(gòu)的性能參數(shù)。通過對(duì)晶體施加一定的電場放大折射率變化量卻又不會(huì)改變極化晶體疇結(jié)構(gòu),通過圖像采集粗測(cè)、衍射光強(qiáng)分布圖采集分析,采用嚴(yán)格耦合波分析方法(RCWA)進(jìn)行優(yōu)化分析,從而在晶體無損狀態(tài)下獲得極化晶體精確的疇域結(jié)構(gòu)相關(guān)性能參數(shù)。
聲明:
“極化晶體疇結(jié)構(gòu)無損表征的方法、系統(tǒng)及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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