本發(fā)明提供一種電力供給恢復(fù)時(shí)能短時(shí)間無(wú)損傷地再啟動(dòng)的氣體激光系統(tǒng)。該氣體激光系統(tǒng)具備：激光振蕩器，其包含在由于來(lái)自電源部的供給電力的下降而停止了動(dòng)作后，在正常地開(kāi)始動(dòng)作之前需要預(yù)定的待機(jī)時(shí)間的設(shè)備；控制裝置，其控制激光振蕩器；電力下降檢測(cè)部；以及非易失性存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)通過(guò)電力下降檢測(cè)部檢測(cè)出供給電力下降的第一時(shí)刻的時(shí)刻數(shù)據(jù)。控制裝置根據(jù)從通過(guò)非易失性存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的時(shí)刻數(shù)據(jù)而得到的第一時(shí)刻到輸出下一次的系統(tǒng)啟動(dòng)指令的第二時(shí)刻的時(shí)間，計(jì)算設(shè)備的動(dòng)作停止時(shí)間，當(dāng)該動(dòng)作停止時(shí)間超過(guò)預(yù)定的待機(jī)時(shí)間時(shí)，允許設(shè)備的動(dòng)作重新開(kāi)始，在動(dòng)作停止時(shí)間在預(yù)定的待機(jī)時(shí)間以內(nèi)時(shí)，禁止設(shè)備的動(dòng)作重新開(kāi)始。