本申請(qǐng)實(shí)施例中提供了低真空氣體的快速無(wú)損采樣裝置及采樣方法,無(wú)損采樣裝置包括:真空獲得組件,用于獲取一定氣壓的真空;采樣組件,用于對(duì)待測(cè)氣體進(jìn)行減壓采樣得到采樣氣體;氣體分析組件,用于在真空內(nèi)對(duì)采樣氣體進(jìn)行氣體分析;以及連接真空獲得組件、采樣組件以及氣體分析組件的控制模塊;其中,氣體分析組件設(shè)置開(kāi)口與所述真空獲得組件相連通。通過(guò)本申請(qǐng)的低真空氣體的快速無(wú)損采樣裝置及采樣方法可以使采樣得到的氣體含量比例與原有工藝腔室中的氣源一致,實(shí)現(xiàn)無(wú)損采樣,使最后的氣體成分分析更加準(zhǔn)確。
聲明:
“低真空氣體的快速無(wú)損采樣裝置及采樣方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)