本發(fā)明涉及一種表征二氧化硅薄膜殘余應(yīng)力的方法,包括下列步驟:獲得包含殘余應(yīng)力的聲表面波理論計算模型;將二氧化硅樣片的密度、泊松比、厚度、彈性常數(shù)在內(nèi)的參數(shù)代入理論計算模型中,得到不同殘余應(yīng)力下表面波在二氧化硅薄膜中傳播的理論頻散曲線;二氧化硅薄膜樣片,控制激光器發(fā)射出一定頻率和能量的短脈沖激光束,經(jīng)過光學調(diào)整系統(tǒng)最終在樣片表面匯聚成線性激光束,在樣片表面產(chǎn)生超聲表面波;表面波在樣片表面?zhèn)鞑ヒ欢ň嚯x后被壓電傳感器探測;對采集到的離散時域電壓信號進行包括傅立葉變換在內(nèi)的數(shù)學處理,從而得到實驗頻散曲線;找出與實驗頻散曲線最匹配的理論頻散曲線,該曲線的殘余應(yīng)力值即為所測二氧化硅薄膜樣片的殘余應(yīng)力值。
聲明:
“激光無損表征二氧化硅薄膜殘余應(yīng)力的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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