本發(fā)明涉及一種表征薄膜楊氏模量的優(yōu)化方法,包括:計(jì)算出殘余應(yīng)力對薄膜楊氏模量測量的影響小于5%的范圍,作為理想模型的適用范圍;采用薄膜/襯底結(jié)構(gòu)的樣片,控制激光器發(fā)射出一定頻率和能量的短脈沖激光束,樣片表面通過熱彈效應(yīng)產(chǎn)生超聲表面波;得到實(shí)驗(yàn)頻散曲線;將薄膜的厚度和殘余應(yīng)力值與理想模型的適用范圍進(jìn)行對照;若殘余應(yīng)力對薄膜楊氏模量測量的影響小于5%,將樣片的薄膜和襯底的密度、楊氏模量、泊松比、厚度在內(nèi)的其他參數(shù)代入MATLAB理想理論模型中,然后通過改變楊氏模量的值來找出與實(shí)驗(yàn)頻散曲線最相近的理論頻散曲線的楊氏模量的值。
聲明:
“激光無損表征薄膜楊氏模量的優(yōu)化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)