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基于散射原理對不透明材料內(nèi)部微/納米級體缺陷的檢測方法

653 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:04

一種基于散射原理對不透明材料內(nèi)部微/納米級體缺陷的檢測方法,屬無損檢測領域。本檢測方法是用針對被檢測材料透明或半透明的光源,發(fā)出波長為0.8～11.6μm的光束經(jīng)小孔空間濾波后,進入聚焦系統(tǒng)聚為一微細光束,將此微細光束打入被測材料內(nèi)部,通過三維超精密工作臺移動被測材料,實現(xiàn)聚焦激光束焦點對材料內(nèi)部各層面的掃描,將圖象傳感器放在與由激光器、小孔及聚焦系統(tǒng)構成的光軸垂直的方向上接收散射光,由散射光分布可判斷材料內(nèi)部有無缺陷及缺陷的大小等。采用本方法檢測不透明材料,其探測微缺陷的尺度可小至納米。

聲明：

“基于散射原理對不透明材料內(nèi)部微/納米級體缺陷的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)