本發(fā)明公開(kāi)了一種基板檢測(cè)設(shè)備及其檢測(cè)方法,所述檢測(cè)方法包括:獲取基板的位置;檢測(cè)并獲取殘留物信息;以及根據(jù)所述殘留物信息,判斷所述位置的清潔度,并反饋結(jié)果。本發(fā)明通過(guò)光學(xué)顯微鏡進(jìn)行定位后,啟動(dòng)光阻檢測(cè)裝置對(duì)所需位置進(jìn)行光阻殘留檢測(cè),可以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)完就反饋,簡(jiǎn)單高效,同時(shí)利用機(jī)械臂移動(dòng)檢測(cè)裝置到待檢測(cè)的位置,相比于傳統(tǒng)的方式,大尺寸面板可以不用切片就可執(zhí)行無(wú)損檢測(cè)的操作,兼顧了耗材利用率與測(cè)量效率。
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“基板檢測(cè)設(shè)備及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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