一種高反射率凹軸錐鏡的面形檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法,檢測(cè)系統(tǒng)包括:移相干涉儀、平面標(biāo)準(zhǔn)鏡、工作臺(tái)和調(diào)整架,待測(cè)凹軸錐鏡固定在調(diào)整架上,其軸線與移相干涉儀的光軸平行且錐面朝向移相干涉儀的出光方向,調(diào)整架安裝在工作臺(tái)上,通過工作臺(tái)在待測(cè)凹軸錐鏡軸線方向上的定位掃描移動(dòng),以及移相干涉儀的測(cè)量光束在待測(cè)凹軸錐鏡錐面的兩次反射和平面標(biāo)準(zhǔn)鏡的反射,測(cè)量得到待測(cè)凹軸錐鏡上兩個(gè)不同徑向位置疊加的面形圖,并解出待測(cè)凹軸錐鏡各個(gè)不同徑向位置的環(huán)帶面形,最后得到待測(cè)凹軸錐鏡的面形。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適用性強(qiáng),對(duì)測(cè)量件無損傷等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
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