本發(fā)明公開了一種材料缺陷檢測設(shè)備以及材料缺陷檢測方法,包括:平面陣列傳感器、控制電路和結(jié)果輸出模塊,其中:平面陣列傳感器,包括:多個檢測電極、端部屏蔽電極、極間屏蔽電極、傳感器基板、信號線和基板背面屏蔽層,其中:控制電路與多個檢測電極相連,用于控制對多個檢測電極的電壓激勵;多個檢測電極以陣列方式排列在傳感器基板的上方,傳感器基板的背面覆蓋有基板背面屏蔽層,以及分布有信號線;信號線與多個檢測電極相連,且與結(jié)果輸出模塊相連,用于將檢測信號傳輸給結(jié)果輸出模塊;結(jié)果輸出模塊用于根據(jù)檢測信號輸出對應(yīng)的檢測結(jié)果。采用本發(fā)明方案,實(shí)現(xiàn)了對材料內(nèi)部的無損檢測。
聲明:
“材料缺陷檢測設(shè)備以及材料缺陷檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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