本發(fā)明公開了一種曲面膠厚全場(chǎng)檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法。該檢測(cè)裝置包括可調(diào)諧激光器、透鏡、分光棱鏡、透鏡和光電探測(cè)面陣CCD,可調(diào)諧激光器的出射光線經(jīng)過透鏡后經(jīng)過分光棱鏡反射向透鏡,光線經(jīng)過透鏡后在被檢表面反射,在被檢表面反射后的光線沿原光路返回,依次經(jīng)過透鏡和分光棱鏡,照射在光電探測(cè)面陣CCD上。根據(jù)光電探測(cè)面陣CCD5上得到的反射光能量比變化值計(jì)算得出膠層厚度分布;依據(jù)測(cè)量原理求出膠層反射比,從而計(jì)算得到膠層厚度分布。本發(fā)明可無損地測(cè)得曲面基底的光刻膠全場(chǎng)厚度分布,適用于用光刻方法加工曲面基底微結(jié)構(gòu)時(shí)的膠厚檢測(cè),也適用于其它曲面基底的膜厚測(cè)量。
聲明:
“曲面膠厚全場(chǎng)檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)