本發(fā)明公開了一種曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法。該曲面膠厚檢測裝置包括激光發(fā)射器、導軌、分光棱鏡、第一光功率計、第二光功率計和透鏡,分光棱鏡設置于導軌上,激光發(fā)射器發(fā)出的光線照射在分光棱鏡上,經過分光棱鏡后的透射光線照射在第一光功率計上,經過分光棱鏡后的反射光線照射在透鏡上,經過透鏡的光線沿被檢樣品的膠層曲面球心方向入射,光線在被檢膠層曲面反射后沿入射光路返回,依次經過透鏡和分光棱鏡后照射在第二光功率計上。本發(fā)明可實現無損地對曲面基底上的光刻膠厚度及分布進行逐點測量。
聲明:
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