一種缺陷檢測(cè)方法,包括:利用不同波長(zhǎng)的相干光源(11、12、13、14)照射被測(cè)物體;拍攝被測(cè)物體在不同波長(zhǎng)的相干光源(11、12、13、14)照射下生成的多幅散斑圖像;利用散斑圖像檢測(cè)被測(cè)物體的缺陷。有益效果:測(cè)量精度達(dá)到了光波波長(zhǎng)量級(jí),可以檢測(cè)微米級(jí)別的微缺陷,是一種非接觸、高精度、在線式、實(shí)時(shí)性的無(wú)損檢測(cè)方法。
聲明:
“缺陷檢測(cè)方法及缺陷檢測(cè)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)