一種結(jié)構(gòu)缺陷檢測系統(tǒng),包括:激光器(1)、分光鏡(2)、擴(kuò)束鏡(3)、半透半反鏡(7)、聲波發(fā)生器(4)、聲波頻率調(diào)節(jié)器(5)、成像透鏡(6)、光電傳感器(9)、計(jì)算機(jī)(8);計(jì)算機(jī)(8)控制聲波發(fā)生器(4)發(fā)出聲波信號;激光器(1)發(fā)出的激光形成了干涉光路,干涉光路在光電傳感器(9)上形成散斑干涉場,生成散斑圖像;光電傳感器(9)將散斑圖像傳輸至計(jì)算機(jī)(8)進(jìn)行被測物體的缺陷檢測。此外,還包括一種結(jié)構(gòu)缺陷檢測方法。采用該技術(shù)方案能夠檢測消費(fèi)電子產(chǎn)品內(nèi)部復(fù)雜、細(xì)小電子器件的裝配缺陷,是一種非接觸、高精度、在線式、實(shí)時性的無損檢測方法。
聲明:
“結(jié)構(gòu)缺陷檢測系統(tǒng)及結(jié)構(gòu)缺陷檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)