本實(shí)用新型涉及
鈣鈦礦電池技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種鈣鈦礦膜的缺陷檢測(cè)設(shè)備。鈣鈦礦膜的缺陷檢測(cè)設(shè)備,包括密封艙、第一檢測(cè)單元、第二檢測(cè)單元和信號(hào)處理單元;所述第一檢測(cè)單元包括第一傳送裝置、第一激光源發(fā)射裝置、第一傳感器、相機(jī)和第一龍門架;所述第二檢測(cè)單元包括第二傳送裝置、第二激光源發(fā)射裝置、第二傳感器、光探測(cè)器和第二龍門架;所述信號(hào)處理單元分別連接所述相機(jī)和所述光探測(cè)器。通過各個(gè)單元的配合,可對(duì)大面積鈣鈦礦薄膜進(jìn)行無損檢測(cè),高效,可進(jìn)一步提高鈣鈦礦的成膜質(zhì)量。
聲明:
“鈣鈦礦膜的缺陷檢測(cè)設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)