基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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東北	遼寧沈陽大連鞍山撫順本溪丹東錦州營口阜新遼陽盤錦鐵嶺朝陽葫蘆島鲅魚圈盤錦港錦州港吉林長春四平遼源通化白山松原白城延邊州黑龍江哈爾濱齊齊哈爾雞西鶴崗雙鴨山大慶伊春佳木斯七臺河牡丹江黑河綏化大興安嶺地區(qū)
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用于半導體缺陷檢測的系統(tǒng)

848 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:10

為克服現有半導體樣品缺陷檢測系統(tǒng)檢測效率低、精確度差以及有損的問題，本發(fā)明提供了一種用于半導體缺陷檢測的系統(tǒng)，包括第一光源，用于使半導體樣品產生散射光，第二光源，用于使半導體樣品產生第一反射光，第三光源，用于使半導體樣品產生第二反射光和光致發(fā)光；光致發(fā)光檢測組件，用于檢測半導體樣品上單個發(fā)光單元的熒光光譜以及熒光圖像；散射光檢測組件，用于檢測散射光的圖像；反射光檢測組件，用于檢測第一反射光和第二反射光的圖像。本發(fā)明提供的檢測系統(tǒng)能夠同時、快速、無損的進行半導體外表面缺陷、次表面缺陷以及器件缺陷檢測，檢測準確度高，適用Mini LED、Micro LED的缺陷檢測和質量分析。

聲明：

“用于半導體缺陷檢測的系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)