一種渦流檢測傳感器,屬于無損檢測技術(shù)領(lǐng)域。渦流檢測傳感器包括磁芯、繞制在磁芯本體上的激勵(lì)線圈和磁場傳感器,所述磁芯面向被檢導(dǎo)體表面所在端形成尖銳凸起并在凸起端開口形成縫隙,磁場傳感器設(shè)置在所述縫隙與被檢導(dǎo)體面平行的平面內(nèi)。磁場傳感器將縫隙處聚集的磁場與被檢導(dǎo)體作用形成的磁信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出。本發(fā)明顯著減小了磁場作用范圍,進(jìn)而提高了空間分辨率。運(yùn)用本發(fā)明傳感器檢測缺陷能夠清晰反映被檢缺陷的輪廓和大小以及精確位置,有利于進(jìn)一步辨識缺陷,進(jìn)而評估導(dǎo)體缺陷所帶來的影響。并且通過設(shè)計(jì)不同的磁芯結(jié)構(gòu)來大幅度增加激勵(lì)線圈的匝數(shù)以適當(dāng)減小激勵(lì)信號的電流,避免了因激勵(lì)線圈發(fā)熱嚴(yán)重而造成的測量誤差。
聲明:
“高空間分辨率的渦流檢測傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)