本發(fā)明公開了一種薄壁封閉玻璃腔室光學(xué)參數(shù)的檢測系統(tǒng),包括光源、鎖相放大器、光學(xué)斬波器、光電探測器、分光片、透鏡、光闌和計(jì)算機(jī);光源產(chǎn)生激光進(jìn)入主光路,經(jīng)兩個(gè)透鏡調(diào)節(jié)光斑尺寸,再經(jīng)光闌整形光斑、控制光強(qiáng);輸入光經(jīng)分光片形成參考光路和測量光路,測量光路的激光經(jīng)過腔室的表面,反射到光電探測器中,其輸出信號經(jīng)鎖相放大器調(diào)制,連接計(jì)算機(jī);參考光路的激光直接由光電探測器檢測,其輸出信號經(jīng)另一鎖相放大器調(diào)制,連接計(jì)算機(jī)。本發(fā)明還提出一種與之相應(yīng)的檢測方法。本發(fā)明解決了薄壁封閉玻璃腔室光學(xué)參數(shù)(物理壁厚、折射率)無損檢測的問題,為超高靈敏慣性與磁場測量裝置后續(xù)的深入研究提供了基礎(chǔ)。
聲明:
“薄壁封閉玻璃腔室光學(xué)參數(shù)的檢測系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)