本發(fā)明公開了一種基于同心雙錐面鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法,點光源發(fā)出的光經(jīng)過中空反射鏡、準直鏡、凸錐面鏡、凹錐面鏡生成環(huán)形光,環(huán)形光經(jīng)中空反射鏡、分光棱鏡和物鏡,將環(huán)形光匯聚至待測樣品,待測樣品發(fā)出的反射光和散射光經(jīng)過物鏡和分光棱鏡,入射至探測互補光闌,反射光被遮擋散射光經(jīng)過收集透鏡和探測針孔,入射至光電探測器,從而完成對亞表面的檢測。本發(fā)明采用同心雙錐面鏡生成環(huán)形光,光能利用率接近百分之百,提高了成像對比度和信噪比;上下移動的圓柱銷可以改變環(huán)形光占空比;采用環(huán)形光束照明,結(jié)合探測互補光闌實現(xiàn)暗場共焦,解決了普通共焦顯微技術(shù)檢測亞表面損傷信噪比低的問題,檢測方法適用于亞表面無損檢測。
聲明:
“基于同心雙錐面鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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