本實用新型屬于電子器件檢測系統(tǒng)領(lǐng)域,公開了一種電子器件表面缺陷檢測系統(tǒng)。所述系統(tǒng)由光源控制模塊A、分光干涉光學模塊B、樣品控制模塊C和數(shù)據(jù)采集分析模塊D構(gòu)成;光源控制模塊A產(chǎn)生特定頻率的光束,通過分光干涉光學模塊B分為等頻率等相位的相干光,一束通過樣品控制模塊C中的被測電子器件表面反射,另一束通過反射鏡反射,使兩束反射光產(chǎn)生干涉,數(shù)據(jù)采集分析模塊D接收產(chǎn)生的干涉圖樣。本實用新型的系統(tǒng)可以對電子器件的表面及界面處微小形變進行的非接觸式測量,具有高精度、全場、實時、無損檢測等優(yōu)點。
聲明:
“電子器件表面缺陷檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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