本發(fā)明屬于電子器件檢測技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種高效檢測大面積微細(xì)電子器件的方法。通過光源控制模塊A產(chǎn)生特定頻率的光束,通過分光干涉光學(xué)模塊B分為等頻率等相位的相干光,一束通過被測電子器件表面反射,另一束通過反射鏡反射,使兩束反射光產(chǎn)生干涉,測試過程被測電子器件通過樣品控制模塊C進(jìn)行測試條件的控制,通過數(shù)據(jù)采集分析模塊D接收產(chǎn)生的干涉圖樣,并利用計算機軟件進(jìn)行分析。本發(fā)明的方法可以對大面積電子器件的表面及界面處微小形變進(jìn)行的非接觸式測量,具有高精度、全場、實時、無損檢測等優(yōu)點。
聲明:
“高效檢測大面積微細(xì)電子器件的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)