本發(fā)明公開了一種用于光學(xué)元件亞表面缺陷檢測的裝置及方法。本發(fā)明將光譜共焦技術(shù)、激光散射技術(shù)和激光誘導(dǎo)超聲技術(shù)結(jié)合起來,通過色散鏡組將激發(fā)激光和檢測激光同時(shí)聚焦到光學(xué)元件的不同深度,激發(fā)激光在光學(xué)元件亞表面產(chǎn)生瞬態(tài)熱膨脹效應(yīng),檢測激光觀測并分析亞表面缺陷在熱膨脹效應(yīng)作用下的超聲振動(dòng),由光譜共焦技術(shù)獲取亞表面缺陷位置散射光的空間分布信息及散射光譜信息。通過利用上述技術(shù)得到缺陷的反射光譜、散射光譜、三維形狀、缺陷深度等多維度信息,進(jìn)行亞表面缺陷的損傷表征。本發(fā)明適用于對(duì)亞表面缺陷有嚴(yán)苛要求的超精密光學(xué)元件的成品無損檢測。
聲明:
“用于光學(xué)元件亞表面缺陷檢測的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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