本發(fā)明公開一種摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測方法,該方法利用橢圓偏振光譜儀測試摻氟氧化錫鍍膜玻璃的橢偏參數(shù),建立梯度層與粗糙層雙層膜系結(jié)構(gòu)模型及各層對應(yīng)色散模型,梯度層的模型為隨著摻氟氧化錫鍍膜厚度的增加,從底層的介電材料漸變?yōu)轫攲拥耐该鲗?dǎo)電材料。通過迭代回歸橢偏光譜,獲得摻氟氧化錫薄膜的結(jié)構(gòu)及各層的光學(xué)參數(shù)。本發(fā)明僅采用橢偏光學(xué)測試手段便可測量非均質(zhì)摻氟氧化錫薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)參數(shù),對樣品無損傷、無接觸、測量耗時少,測試方法簡便、快捷,且對被測樣品表面無特殊要求,十分適合于在線低輻射節(jié)能鍍膜玻璃的性能在線檢測及監(jiān)控。
聲明:
“摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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