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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
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晶圓鍵合質量檢測方法及系統(tǒng)

889 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:18

本發(fā)明提供了一種晶圓鍵合質量檢測方法及系統(tǒng)，檢測方法包括如下步驟：提供第一晶圓和第二晶圓，第一晶圓包括疊置的第一硅層和第一鍵合金屬層，第二晶圓包括疊置的第二硅層和第二鍵合金屬層，第一晶圓和第二晶圓通過第一鍵合金屬層與第二鍵合金屬層相互鍵合以形成測試結構；對測試結構進行電流電壓測試，得到測試結構的電流電壓測試曲線，并根據(jù)電流電壓測試曲線表征測試結構的鍵合質量。本發(fā)明針對低溫鍵合晶圓界面的質量評估需求，通過對測試結構進行電流電壓測試，實現(xiàn)了對晶圓鍵合質量快速且無損的表征，揭示了鍵合界面的電學特性，對于三維單片集成工藝的開發(fā)具有重要意義。

聲明：

“晶圓鍵合質量檢測方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)