本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體少數(shù)載流子壽命分布的紅外偏振光學(xué)成像檢測(cè)方法與系統(tǒng)。所述方法由短波焦平面紅外相機(jī)采集少數(shù)載流子輻射復(fù)合偏振發(fā)光圖像序列、激光光源偏振激勵(lì)、少數(shù)載流子輻射復(fù)合偏振發(fā)光信號(hào)處理與圖像分析三個(gè)步驟組成;所述系統(tǒng)包括激光偏振激勵(lì)裝置、NI數(shù)據(jù)采集卡、短波焦平面紅外相機(jī)及計(jì)算機(jī)。本發(fā)明應(yīng)用紅外偏振成像技術(shù)和數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)得到調(diào)制偏振光誘發(fā)
半導(dǎo)體材料的少數(shù)載流子輻射復(fù)合偏振光的頻域響應(yīng)特性,利用少數(shù)載流子輻射復(fù)合偏振發(fā)光頻響特性分析得到少數(shù)載流子壽命,這是一種快速、準(zhǔn)確獲取少數(shù)載流子壽命分布的無損檢測(cè)方法。
聲明:
“半導(dǎo)體少數(shù)載流子壽命分布的紅外偏振光學(xué)成像檢測(cè)方法與系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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