一種用于具有導(dǎo)電屬性工件平面度的檢測方法和儀器。本發(fā)明通過利用導(dǎo)電材料正負(fù)極間的間隙效應(yīng),極間距離和擊穿電壓的關(guān)系接近直線,間隙擊穿電壓梯度基本不變的原理,將探針和砂輪及其附屬件分布做為正負(fù)兩極,通過標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)定最小擊穿電壓和極間距離的函數(shù),以符合該函數(shù)的電壓值調(diào)整探針與被測件的距離使空氣剛好被擊穿,測得此時(shí)探針的位置,從而得出該點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)件的誤差,通過多點(diǎn)測量得出被測件的平面度,整個(gè)測量過程無接觸,實(shí)現(xiàn)了無損測量。
聲明:
“用于具有導(dǎo)電屬性工件平面度的檢測方法和儀器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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