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基于光纖光譜儀的光學薄膜厚度檢測裝置及方法

721   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 08:58:22
本發(fā)明公開了一種基于光纖光譜儀的光學薄膜厚度檢測裝置及方法。光學平臺上一側從上到下順次設有第一支撐柱、第一固定塊，光學平臺上另一側從上到下順次設有第二支撐柱、第二固定塊，第一支撐柱、第二支撐柱上端固定有支撐橫梁，支撐橫梁下端設有Z向移動軌道，在Z向移動軌道上設有L型固定塊，在L型固定塊上設有光纖光譜儀探頭橫梁，在光纖光譜儀探頭橫梁上設有光纖光譜儀探頭，在光纖光譜儀探頭右側設有光學顯微鏡，光學平臺上從下到上順次設有X、Y步進電控平移臺、樣品臺、待測樣品。本發(fā)明可以實時在線無損地獲得光學薄膜樣品不同位置的厚度信息。
聲明：
“基于光纖光譜儀的光學薄膜厚度檢測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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