通過除去被測材料的表面附著的氧化膜,來確實(shí)地實(shí)施無損結(jié)晶粒徑測量。為此在測定時,首先,向從超聲波檢測器對軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面照射激光的照射位置,從表面除去裝置照射激光,除去軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面的氧化膜。除去了軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面的氧化膜后,從超聲波振蕩器對軋制產(chǎn)品的一側(cè)表面照射激光,使得在軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面發(fā)生超聲波振蕩。然后,通過從超聲波檢測器對軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面照射激光,并利用超聲波檢測器接收來自軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面的反射光,從而檢測在軋制產(chǎn)品的另一側(cè)表面發(fā)生的超聲波振蕩,根據(jù)超聲波檢測器的檢測結(jié)果,算出軋制產(chǎn)品的結(jié)晶粒徑。
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