一種電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法,該裝置包括激光器、第一透鏡、空間濾波器、第二透鏡、起偏器、分光鏡、平面反射鏡、數(shù)字光電自準直儀、第三透鏡、第四透鏡、檢偏器、成像透鏡、探測器和計算機處理系統(tǒng)。實驗表明,本發(fā)明利用錐光干涉原理,實現(xiàn)了待測晶體待測面的非接觸式無損檢測,保障了測量過程中不引入待測晶體表面劃痕,并且適用于大口徑電光晶體檢測,另外本發(fā)明采用數(shù)字光電自準直儀標定檢測光束的光軸方向,保障了檢測光束垂直入射待測晶體,具有測量精度高,測量重復性好的優(yōu)點,具有很大應用前景。
聲明:
“非接觸式電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)