一種面內(nèi)位移和離面位移同時(shí)測(cè)量的激光散斑測(cè)量裝置。主要由連續(xù)波激光器、準(zhǔn)直擴(kuò)束器、偏振分束器Ⅰ、偏振分束器Ⅱ、偏振分束器Ⅲ、偏振分束器Ⅳ、反射鏡Ⅰ、反射鏡Ⅱ、反射鏡Ⅲ、會(huì)聚透鏡、CCD相機(jī)Ⅰ、CCD相機(jī)Ⅱ和計(jì)算機(jī)構(gòu)成,本實(shí)用新型能一次布置光路,同時(shí)實(shí)現(xiàn)被測(cè)物體形變的面內(nèi)位移和離面位移分布信息的測(cè)量,測(cè)量精度能達(dá)到亞波長(zhǎng)量級(jí);并且具有簡(jiǎn)單易行、快速、準(zhǔn)確的特點(diǎn)。可廣泛應(yīng)用于光電無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域的微小位移的實(shí)時(shí)、高精度可靠測(cè)量。
聲明:
“面內(nèi)位移和離面位移同時(shí)測(cè)量的激光散斑測(cè)量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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