本發(fā)明提供一種散斑干涉與剪切散斑干涉的測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法,涉及光學(xué)測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。其特征在于:包括激光器和分束鏡,所述激光器發(fā)射的激光經(jīng)所述分束鏡分為透射光和反射光;所述透射光經(jīng)擴(kuò)束鏡擴(kuò)束后照射至被測(cè)物形成漫反射光,所述反射光依次經(jīng)光纖、透鏡和分光棱鏡后作為參考光進(jìn)入光路;所述被測(cè)物表面的漫反射光依次經(jīng)光闌、成像透鏡和邁克爾遜剪切裝置后,獲得具有剪切量的兩束物光;所述具有剪切量的兩束物光和光纖引入的參考光在CCD相機(jī)的靶面上干涉,形成散斑干涉圖。本發(fā)明可對(duì)被測(cè)物進(jìn)行散斑和剪切的同步動(dòng)態(tài)檢測(cè),是一種無(wú)損、全場(chǎng)、高精度的測(cè)量系統(tǒng)。
聲明:
“散斑干涉與剪切散斑干涉的測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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