本發(fā)明公開了一種低溫微波表面電阻多模測試裝置,包括圓柱形金屬腔體,以及填充于金屬腔體中的介質(zhì)材料,金屬腔體底面設(shè)有樣品孔,樣品孔的中心軸位于金屬腔體底面的中心。一種利用上述測試裝置測試微波表面電阻的多模測試方法,包括以下步驟:S1、將導(dǎo)體鈮置于樣品孔中,分別測量出TE011工作模式和TE013工作模式下的無載品質(zhì)因數(shù);S2、將待測樣品置于樣品孔中,分別測量出TE011工作模式和TE013工作模式下的無載品質(zhì)因數(shù);S3、根據(jù)相關(guān)公式即可計(jì)算待測樣品在TE011工作模式和TE013工作模式下的微波表面電阻值。該裝置及方法利用填充介質(zhì)圓柱諧振腔的多個模式,可以對低溫下小尺寸樣品在較低頻率下的微波表面電阻進(jìn)行直接無損測量,測量不確定度低。
聲明:
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