本發(fā)明提供了一種原子氣室內(nèi)壁氫化銣抗弛豫膜層厚度的測(cè)量方法,應(yīng)用于原子氣室測(cè)試評(píng)估領(lǐng)域。首先在氦氣氛圍中將內(nèi)壁鍍有氫化銣抗弛豫膜層的原子氣室進(jìn)行物理破碎,利用原子力顯微鏡和光譜分析儀進(jìn)行檢測(cè),通過不同厚度抗弛豫膜層的光譜透射率的測(cè)試數(shù)據(jù),建立抗弛豫膜層厚度與光譜透射率的映射關(guān)系;然后基于上述映射關(guān)系,利用光譜分析儀,通過無損檢測(cè)方式,測(cè)量待測(cè)原子氣室的光譜透射率,通過數(shù)學(xué)模型擬合得到原子氣室內(nèi)壁抗弛豫膜層的厚度;從而實(shí)現(xiàn)對(duì)原子氣室內(nèi)壁抗弛豫膜層厚度的無損檢測(cè)。本發(fā)明解決目前原子氣室內(nèi)壁氫化銣抗弛豫膜層難以有效測(cè)量的問題。
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“原子氣室內(nèi)壁氫化銣抗弛豫膜層厚度的測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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