一種GaN熱膨脹系數(shù)測量的Raman散射方法，包括以下步驟：1）對樣品進(jìn)行劃片并取樣，并清洗；2）對樣品進(jìn)行變溫Raman測試；3）對測試結(jié)果進(jìn)行線性擬合；提取線性擬合斜率和截距。根據(jù)提取的結(jié)果，結(jié)合Gruneisen參數(shù)???????????????????????????????????????????????的物理意義，實(shí)現(xiàn)對固體材料熱膨脹行為的測試和表征；本發(fā)明采用了變溫Raman散射技術(shù)，利用Raman散射獲得Raman聲子頻移與溫度之間的關(guān)系，能夠準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)對GaN、AlN和InN及其他III族氮化物外延層薄膜二元及多元合金體系熱膨脹行為進(jìn)行無損檢測和表征，避免了一般表征方法中對樣品的破壞和較為復(fù)雜的公式推導(dǎo)和數(shù)學(xué)計(jì)算；由于對樣品的形狀和大小沒有嚴(yán)格意義上的要求，可方便地對各類半導(dǎo)體類材料的熱膨脹行為進(jìn)行測試，方法簡單，易于實(shí)現(xiàn)，誤差小。