本發(fā)明涉及電子衍射儀,提供一種雙模逐層測量系統(tǒng),包括真空樣品室,真空樣品室內(nèi)設(shè)置有樣品臺,還包括電子脈沖控制單元、缺陷調(diào)控光路以及處理單元,缺陷調(diào)控光路上設(shè)置有激光脈沖能量調(diào)節(jié)裝置以及激光脈沖掃描裝置,處理單元包括用于接收電子背散射花樣的第一接收組件、用于接收衍射圖像的第二接收組件以及分析接收后衍射圖像與電子背散射花樣以控制激光脈沖能量調(diào)節(jié)裝置與激光脈沖掃描裝置的控制中心。本發(fā)明的測量系統(tǒng)可對微納制造過程原位實時無損測量,實現(xiàn)邊生長、邊檢測,且通過對衍射圖像以及背散射花樣處理獲得樣品表面缺陷信息,并根據(jù)此信息反饋調(diào)節(jié)飛秒激光脈沖能量及掃描位置,進行缺陷的修復(fù),實現(xiàn)邊檢測、邊調(diào)控的目的。
聲明:
“雙模逐層測量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)