一種電光晶體通光面法線與晶體光軸的夾角測(cè)量裝置和方法,該裝置中的主要元件包括:線偏振光激光器、第一透鏡、小孔光闌、第二透鏡、分光鏡、平面反射鏡、接收屏、第三透鏡、一維精密電動(dòng)位移臺(tái)、第四透鏡、線偏振片、第五透鏡、圖像探測(cè)器和計(jì)算機(jī),裝調(diào)光路須用到數(shù)字光電自準(zhǔn)直儀和一塊平行度為1″的平行平板玻璃等。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了待測(cè)電光晶體非接觸式無(wú)損檢測(cè),克服了現(xiàn)有方法中的晶體易產(chǎn)生劃痕、測(cè)量裝置難以搭建和錐光干涉圖難以分析等一系列問(wèn)題。本發(fā)明更換不同F(xiàn)數(shù)的第三透鏡和第四透鏡,可對(duì)不同厚度的電光晶體進(jìn)行測(cè)量。本發(fā)明測(cè)量的數(shù)據(jù)重復(fù)性很好,與現(xiàn)有的X射線晶體定向儀測(cè)量的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,相對(duì)誤差在30″以內(nèi)。
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“電光晶體通光面法線與晶體光軸的夾角測(cè)量裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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