本發(fā)明涉及采用可移動(dòng)雙探頭壓電傳感器測(cè)量薄膜粘附性的方法,由多個(gè)聲表面波叉指換能器構(gòu)成可生成不同頻率聲表面波的聲表面波叉指換能器組,一個(gè)聲表面波叉指換能器包括一個(gè)叉指電極,用以在待測(cè)樣片上產(chǎn)生單頻聲表面波;壓電傳感器用以在待測(cè)樣片上拾取聲表面波的信號(hào),通過(guò)對(duì)采集到的信號(hào)進(jìn)行處理,從而獲得相應(yīng)頻率下聲表面波的波速,更換可產(chǎn)生不同頻率的聲表面波叉指換能器,即可獲得該待測(cè)樣片的聲表面波頻散曲線,通過(guò)將實(shí)驗(yàn)頻散曲線和理論頻散曲線進(jìn)行匹配即可完成對(duì)薄膜特性的無(wú)損檢測(cè)。
聲明:
“采用可移動(dòng)雙探頭壓電傳感器測(cè)量薄膜粘附性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)