本發(fā)明公開了一種基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法,其特征是:激光器的出射光經(jīng)擴(kuò)束后照射測(cè)量面;測(cè)量面漫反射的光經(jīng)兩塊分光棱鏡后分成三束光;三束光分別通過反射鏡、光闌、成像透鏡和分光棱鏡后同時(shí)成像到CCD相機(jī)上;本發(fā)明載波頻率和剪切量獨(dú)立可調(diào),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)被測(cè)物的缺陷進(jìn)行多方向同步檢測(cè),是一種無損、全場(chǎng)、高效的測(cè)量系統(tǒng)。
聲明:
“基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系統(tǒng)及測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)