本發(fā)明涉及一種基于光學(xué)相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置,包括:SLD光源、凸透鏡、第一柱透鏡、第一分光鏡、參考鏡、待測曲面輪廓件、第二柱透鏡、反射鏡、反射式光柵、柱透鏡和面陣CCD相機(jī);所述SLD光源發(fā)出的點(diǎn)光源經(jīng)過凸透鏡準(zhǔn)直為平行光束;該平行光束通過第一柱透鏡聚焦為焦線光束,第一分光鏡將焦線光束分為強(qiáng)度相等的兩束光線,一束為參考光匯聚于參考鏡,一束為探測光匯聚于待測曲面輪廓件;兩束光線經(jīng)反射后重合發(fā)生干涉,干涉光束經(jīng)反射式光柵按波長在空間分光后由柱透鏡匯聚成干涉譜線,由面CCD相機(jī)采集獲得二維干涉光譜條紋。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)對曲面輪廓的高精度、非接觸、無損傷的精密檢測。
聲明:
“基于光學(xué)相干層析的全深式曲面輪廓測量裝置及控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)