本實用新型提出了一種實現(xiàn)薄膜厚度精確測量的裝置，包括邁克爾遜干涉儀、圖像傳感器CCD、數(shù)據(jù)采集模塊、硬件和驅(qū)動電路；邁克爾遜干涉儀用于產(chǎn)生干涉條紋，且邁克爾遜干涉儀上設(shè)有點光源；CCD用于記錄邁克爾遜干涉儀產(chǎn)生的干涉條紋，且CCD與數(shù)據(jù)采集模塊電性連接；數(shù)據(jù)采集模塊設(shè)有計數(shù)器，計數(shù)器用于對干涉條紋進行計數(shù)，且計數(shù)器將計數(shù)結(jié)果輸送至硬件；硬件與數(shù)據(jù)采集模塊電性連接，且硬件內(nèi)設(shè)有數(shù)據(jù)處理及輸出模塊，且數(shù)據(jù)處理及輸出模塊將硬件內(nèi)的信息進行處理并輸出；驅(qū)動電路與CCD電性連接。本實用新型具有快速、準(zhǔn)確、無損傷和測量范圍大等優(yōu)點，可應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的在線檢測，在納米技術(shù)的基礎(chǔ)性研究中也有一定的應(yīng)用價值。