本實(shí)用新型公開(kāi)了一種結(jié)構(gòu)光調(diào)制的暗場(chǎng)顯微缺陷三維測(cè)量系統(tǒng),包括光源、空間光調(diào)制器、第一透鏡、分光鏡、顯微物鏡、第二透鏡、第三透鏡、濾波器、第四透鏡和CCD;所述空間光調(diào)制器用于接收光源發(fā)出的光并調(diào)制成結(jié)構(gòu)光;所述空間光調(diào)制器調(diào)制的結(jié)構(gòu)光依次經(jīng)過(guò)第一透鏡、分光鏡和顯微物鏡微縮投影至樣品上并在樣品上反射形成零級(jí)光和一級(jí)光;所述零級(jí)光依次經(jīng)過(guò)顯微物鏡、第二透鏡和第三透鏡達(dá)到濾波器;所述一級(jí)光依次經(jīng)過(guò)顯微物鏡、第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡到達(dá)CCD成像。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有無(wú)損檢測(cè)方法存在照明背景光和離焦光干擾缺陷散射光成像的問(wèn)題。
聲明:
“結(jié)構(gòu)光調(diào)制的暗場(chǎng)顯微缺陷三維測(cè)量系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)